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孔板流量計附件的安裝、使用和維修保養

時間:2013-04-25 17:15來源:自創 作者:ahenghui 點擊:
孔板流量計 附件的安裝、使用和維修保養,氣體質量流量控制器和氣體質量流量計的應用范圍 MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中,其典型應用有:電子工藝設備,如氧化、CVD、擴散
孔板流量計附件的安裝、使用和維修保養,氣體質量流量控制器和氣體質量流量計的應用范圍 
MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中,其典型應用有:電子工藝設備,如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射,以及微反應裝置、配氣和混氣系統、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
 1、產品安裝前應徹底清除管道污物、焊渣等。
   2、各類氣、電動調節閥應正立垂直安裝。流向按閥體箭頭所示。須斜裝時除小口徑外,如自重較大或有震動,應加支承,入口配管長最好為10-20DN,如有可能,出口配管為3-5DN直管段。氣動高溫高壓疏水閥立式和臥式均可安裝。介質為液體的自力式調節閥一般均倒立安裝,嚴禁逆流向安裝。
   3、設置旁通管道、遇有故障或維修時可用旁路控制。
   4、手操時應控說明書和手操標牌指示,活塞式執行機構帶有竄氣閥時應打開竄氣閥,恢復自蒸汽流量計動時應將切換手柄置“自動”位置,有竄氣閥的應予關閉。液壓手操機構的操作請見說明書。電動閥手操時應將手柄拉出。
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